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      日本TORAY東麗用于半導體的氧氣分析儀

      描述:日本TORAY東麗用于半導體的氧氣分析儀MS-500
      測量原理/選型/維護基礎

      • 產品型號:MS-500
      • 廠商性質:經銷商
      • 更新時間:2025-12-25
      • 訪問量:509
      產品介紹/ PRODUCT PRESENTATION
      品牌TORAY/東麗應用領域醫療衛生,化工,電子/電池,電氣,綜合

      日本TORAY東麗用于半導體的氧氣分析儀MS-500

      日本TORAY東麗用于半導體的氧氣分析儀MS-500


      測量原理/選型/維護基礎


      氧化鋯氧氣濃度計測量原理

      氧化鋯陶瓷的兩面均加工有電極,有在高溫下一側電極電離氧分子,另一側電極將氧離子還原成氧分子的特性。這種性質稱為離子傳導,離子傳導程度隨著氧化鋯陶瓷兩側氧濃度差的增大而增大。在此期間,電子在兩個電極之間交換,離子傳導的程度(=氧化鋯陶瓷兩側的氧濃度差)可以被提取為兩個電極之間的電動勢的大小。如下圖所示,根據能斯特理論公式可以得到這個電動勢的穩定值,因此東麗氧化鋯傳感器可以提供穩定可靠的氧氣濃度值。

      使用氧化鋯氧氣濃度計的一般注意事項

      氧化鋯氧氣濃度計可在約 700℃ 的高溫下工作。因此,在以下情況下,可能無法進行測量,并且可能會影響傳感器的壽命。
      • 由于氧氣濃度計內部有電爐,因此不能在安裝氣氛為防爆的區域使用。

      • 如果可燃氣體(如氫氣、甲烷、酒精、一氧化碳等)進入氧氣計內部,會發生燃燒反應,導致測量誤差。

      • 有機二氧化硅(用于密封劑等)會導致傳感器劣化。(這是傳感器劣化的最常見原因之一。

      • 鹵素(尤其是氯)會導致傳感器故障。

      • 如果一氧化碳等熱值較高的物質間歇性地混入傳感器中,則會接收熱歷史并導致傳感器故障。

      • 如果混入大量Nox、Sox等腐蝕性氣體,會導致傳感器故障。

      • 氟利昂氣體在高溫下可能會引起分離反應,導致傳感器劣化。

      • 水滴、灰塵和霧氣可能會損壞傳感器、縮短其使用壽命并導致錯誤。測量含有這些氣體的氣體時,請在將其流入氧氣濃度計之前先將其除去。購買前請咨詢我們有關去除方法。

      選型圖

      如果您在選擇型號時遇到困難,請參考下表。

      目的兼容型號解釋其他選項
      半導體、液晶、
      電子元件
      MS-500用于安裝在半導體制造設備等上,最多可測量8點
      LC-450A兼容 ppm 級測量,交流電源類型
      • 活性炭過濾器

      • 硅過濾器

      • 過濾棉

      LC-450D支持ppm級測量,DC電源類型
      LC-860兼容 ppb 級測量,交流電源類型
      SD/LD-450真空室安裝型(用于設備集成)交流電源裝置:DU-450
      燒成爐/
      氮氣回流焊/
      廢氣
      RF-400具有氧傳感器保護功能的烘烤爐/回流焊專用機
      • 活性炭過濾器

      • 硅過濾器

      • 過濾棉

      LC-750H/PC-111內置抽氣泵,適用于中高濃度污濁氣體
      天然氣裝置/
      空氣分離
      LC-750H中/高濃度通用型
      LC-750H/PC-110內置抽氣泵,適用于中高濃度清潔氣體
      LC-750L低濃度通用型
      LC-750L/PC-120內置抽氣泵,適用于低濃度清潔氣體
      真空沉積/
      密封爐/
      手套箱
      SD/LD-450分離式傳感器/轉換器型、薄壁安裝轉換器交流電源裝置:DU-450
      食品包裝LC-450F用于充氣后取樣檢查(取樣探頭)
      • 活性炭入口

      • 頂空進樣器

      LC-750F用于充氣后取樣檢查(注射器)
      LF-200用于安裝在氣體灌裝自動包裝機上
      • 活性炭過濾器

      • 過濾棉



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